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반도체 제조공정 기술 요약정보 및 구매

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제조사 일진사
원산지 국내산
브랜드 일진사
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    반도체 제조공정 기술

    9788942919345.jpg

    도서명:반도체 제조공정 기술
    저자/출판사:김상용 , 김용식/일진사
    쪽수:262쪽
    출판일:2024-04-02
    ISBN:9788942919345

    목차
    제1장 CMOS 공정 흐름도 이해
    1. CMOS 트랜지스터 구조
    1-1 FET(Field Effect Transistor)
    1-2 MOSFET(Metal Oxide Semiconductor FET)
    1-3 CMOSFET(Complementary MOSFET)

    2. CMOS 트랜지스터 작동 원리
    2-1 NMOS 트랜지스터 작동 원리
    2-2 PMOS 트랜지스터 작동 원리
    2-3 CMOS 인버터(Invertor) 작동 원리

    3. CMOS 제작 공정 흐름도
    3-1 CMOS 제작 3단계 공정
    3-2 실리콘 기판 제작
    3-3 레티클 제작
    3-4 소자 분리 세부 공정
    3-5 소자 형성 세부 공정
    3-6 소자 배선 세부 공정
    3-7 소자 완성 세부 공정

    제2장 CMOS 단위 공정 최적화
    1. 사진(Photo) 공정
    1-1 사진 공정의 개요
    1-2 사진 공정 흐름도
    1-3 감광막 형성 공정
    1-4 노광 공정
    1-5 현상 공정

    2. 식각(Etching) 공정
    2-1 식각 공정 주요 변수
    2-2 식각 공정의 종류

    3. 확산(Diffusion) 공정
    3-1 확산 공정의 개요
    3-2 산화막(SiO2)의 용도

    4. 평탄화(Planarization) 공정
    4-1 평탄화 공정의 개요
    4-2 CMP 공정 개요
    4-3 CMP 적용 공정

    5. 세정(Cleaning) 공정
    5-1 세정 공정 개념
    5-2 습식 세정 주요 공정
    5-3 건식 세정 주요 공정

    6. 이온 주입(Implanting) 공정
    6-1 이온 주입 개요
    6-2 이온 주입 공정 변수
    6-3 결정 손상 부분 열처리

    7. 박막(Thin Film) 공정
    7-1 기상 증착법

    제3장 공정 장비
    1. 사진(Photo) 공정 장비
    1-1 노광 장비 개요
    1-2 노광 장비 분류
    1-3 Stepper 노광 장비 모듈
    1-4 Scanner 노광 장비 모듈
    1-5 조명 광학계
    1-6 웨이퍼 스테이지
    1-7 축소 투영 렌즈
    1-8 장비의 점검
    1-9 트랙(Track) 장비 개요

    2. 식각(Etch) 공정 장비
    2-1 식각 장비 개요
    2-2 식각 장비 시스템 구성
    2-3 건식 식각 장비 종류
    2-4 습식 식각 장비

    3. 확산 및 이온 주입 장비
    3-1 열 확산로(Furnace)
    3-2 이온 주입 장비 구성 모듈과 기능
    3-3 이온 주입 후 열처리

    4. 박막 증착 장비
    4-1 CVD 박막 증착 장비의 개요
    4-2 CVD 장비 종류
    4-3 물리적 기상 증착법(PVD)

    5. CMP 장비
    5-1 CMP 장비 개요
    5-2 CMP 장비 기본 시스템
    5-3 CMP 주요 구성품의 작동 원리
    5-4 CMP 공정 장비 시스템

    제4장 플라즈마 진단 기술 & 진단 장치
    반도체 공정 검사 & 계측 및 분석 장비
    1. 단위공정 검사 계측 장비
    1-1 개요
    1-2 측정 원리

    2. 물성 분석 및 평가 장비
    2-1 개요
    2-2 분석 장비

    제5장 플라즈마 진단 기술 & 진단 장치
    1. 플라즈마 진단 기술
    1-1 개요
    1-2 플라즈마 진단 방법

    2. 플라즈마 진단 장치
    2-1 Langmuir Probe
    2-2 OES(Optical Emission Spectrograph)
    2-3 Ion Flux
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